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测量技术的发展趋势

更新时间:2012-11-01      浏览次数:983

      测量技术与仪器涉及所有物理量的测量(德国索特测量仪器),对于材料、工程科学、能源科学关系密切。目前的发展趋势有以下几点:
  *,以自然基准溯源和传递,同时在不同量程实现比对。如果自己没有能力比对就要依靠其它国家。

  第二点,是高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,并正向0.18μm过渡,2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方,相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。

  第三是高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,(德国科恩天平)上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领,其原因是后者的速度达到了1m/sec。

  第四,高灵敏,高分辨,小型化。如将光谱仪集成到一块电路板上。

  第五,标准化。通讯接口过去常用GPIB,RS232,(索特测厚仪)目前有可能成为替代物的高性能标准是USB、IEEE1394和VXI。现在,技术者设法控制技术标准,参与标准制订是仪器开发的基础研究工作之一。

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